超高解像度画像処理装置 ZIO

　■ZIO8025　5CCD original line sensor camera

  • 8000画素ラインセンサカメラ5台で、25レーン×20万ラインを撮像
    400億画素の画像を生成
  • 1000万穴以上のスルーホールをCADデータと比較
    スルーホールの位置ズレ、形状、サイズを計測
  • 検査ログをサーバーに出力
    NG箇所を他のリペア機で比較確認・修正
  • ライブ用500万画素カラーカメラを搭載
    NG箇所を処理前画像で閲覧可能
  • 高精度リニアサーボテーブルを採用
    CCDカメラとの同期により、位置測定が可能
  • 取得画層をLCDに高速表示
    マウスホイールにより拡大・縮小を行うことが可能

メタルマスク検査への適用例

ZIO3.png


１）CADファイルを読み込んだ直後
まだ検査ワークはスキャンされていない


ZIO4.png


２）検査ワークをスキャンした画像の全体を表示している。ここから欠陥箇所に向かってズームをしていく


ZIO5.png


３）画像を拡大しつつある各ブロックまで拡大した


ZIO6.png



４）欠陥箇所が見えるまで拡大した


ZIO7.png



５）2次元カメラで撮影した欠陥場所





検査装置事業部 グループ紹介

■機械
■ソフトウェア
■マシンビジョン
■電気


■お問合せ先■

ユキ技研株式会社　検査装置事業部
〒487-0032　愛知県春日井市高森台4丁目8-42
TEL 0568-94-2801 ／ FAX 0568-94-2802
info@yukilabo.co.jp