超高解像度画像処理装置 ZIO
■ZIO8025 5CCD original line sensor camera
- 8000画素ラインセンサカメラ5台で、25レーン×20万ラインを撮像
400億画素の画像を生成 - 1000万穴以上のスルーホールをCADデータと比較
スルーホールの位置ズレ、形状、サイズを計測 - 検査ログをサーバーに出力
NG箇所を他のリペア機で比較確認・修正 - ライブ用500万画素カラーカメラを搭載
NG箇所を処理前画像で閲覧可能 - 高精度リニアサーボテーブルを採用
CCDカメラとの同期により、位置測定が可能 - 取得画層をLCDに高速表示
マウスホイールにより拡大・縮小を行うことが可能
メタルマスク検査への適用例
![ZIO3.png ZIO3.png](swfu/d/ZIO3.png)
1)CADファイルを読み込んだ直後
まだ検査ワークはスキャンされていない
![ZIO4.png ZIO4.png](swfu/d/ZIO4.png)
2)検査ワークをスキャンした画像の全体を表示している。ここから欠陥箇所に向かってズームをしていく
![ZIO5.png ZIO5.png](swfu/d/ZIO5.png)
3)画像を拡大しつつある各ブロックまで拡大した
![ZIO6.png ZIO6.png](swfu/d/ZIO6.png)
4)欠陥箇所が見えるまで拡大した
![ZIO7.png ZIO7.png](swfu/d/ZIO7.png)
5)2次元カメラで撮影した欠陥場所
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